原创：英桥  YBRIDGE

当受到外界振源的激励时，光学系统会产生强迫振动，对于光学仪器及精密加工、精密测量设备而言，过大的振动会导致设备部件

发生相对位移，出现光路偏转、采集的图像信号模糊等，致使设备无法正常工作，因此往往需要采取一定的措施来避免设备产生过

大的振动位移。在工程实际中，采用隔振光学平台是最常用的抑制振动措施之一。

光学平台核心指标为隔振带宽和传递率。隔振带宽数值越大越好，增大隔振频率宽度的途径是提高台面固有频率，降低整个隔振系统

垂向固有频率；传递率数值越小越好，降低传递率的方法是优化隔振器结构。

光学平台按结构可分为“台面”和“隔振器”，如图1所示。单独看台面时，因为要起有效隔振，且设备在台面上直接固定，所以台面固

有频率是越大越好，频率越大，相同能量下振幅才能更小，位移量更小，

起到有效隔振，一般单独测蜂窝台面的一阶共振都在500Hz以上；而台面加上隔振器后，整体系统来看时，因隔振器直接接触地基，

就需要该光学平台固有频率尽可能小，通常要小于15Hz。

实验室的干扰振动通常在15-500Hz左右，市面上比较靠谱的厂商被动阻尼隔振固有频率都在10Hz左右，气浮隔振固有频率一般小于2Hz。

平台台面通常有蜂窝台面、焊接台面、大理石台面等；隔振器通常分为橡胶类阻尼隔振器、空气弹簧类隔振器、主动隔振器等。

英桥技术在售光学平台的台面均为蜂窝台面，橡胶类阻尼隔离器有刚性阻尼隔振器，

空气弹簧类隔振器有普通气浮隔振器和气浮摆杆隔振器等等。

图4.锤击法

在质量一定时，弹簧刚度越小，则系统的的垂向固有频率越低；而对台面来说，其刚度越高则台面固有频率越高，越有利于加大隔振频率范围。

平面度定义为单位面积内被测实际表面对其理想平面的变动量，平面度误差为将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值，

YBRIDGE-英桥技术目前提供的光学平台标品平面度为0.02~0.05 mm/600×600 mm。平面度检测方法有：打表测量法、平面尺检测法、平晶干涉法等。